上海茂竺的特气设备有特气柜(Gas Cabinet或称钢瓶柜、气瓶
柜)，气体流量控制箱(Gas Box by MFC),阀门箱（VMB）,阀门盘
（VMP），气体侦测器（Gas Detector），废气处理器
(Scrubber)以及化学品供应机台（CDU、TEE-BOX、SAMPLING
BOX）。
上海茂竺公司还提供特气设备的安装服务、特气系统的二次配管
及化学品供应机台的安装、化学品供应管道的配管等高洁净要求
的业务。
从日本、欧美等发达国家进口的电子级材料，如EP级 （BA级、
AP级）不锈钢管道（Tube，SS316L,SS304,或称电子级管道、超
高纯管道、洁净管道），隔膜阀（Diaphragm Valve）, 减压阀
（Regulator，或称调压阀）,过滤器（filter，0.003μm），
fitting（Gland ,Tee …）等等超高纯特殊气体系统中必需采用
的各类零部件。同时，提供危险气体的泄漏探测器（探测系统）
及一般气体的浓度侦测等服务。适合特殊气体的控制和输送的设
备。被广泛应用到太阳能电池生产线及微电子领域。 |
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